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一種用于 MOCVD 設(shè)備的噴淋頭
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.502d.xyz
關(guān)鍵詞：
噴淋頭
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
一種用于 MOCVD 設(shè)備的噴淋頭，屬于氣體噴淋裝置，解決現(xiàn)
有噴淋頭存在的原料氣體不能均勻混合的問題，同時(shí)減少在噴淋頭頂
部出現(xiàn)沉積堵塞噴口的問題。本發(fā)明包括底座、下隔板、上隔板、頂
蓋和中心導(dǎo)管，頂蓋和底蓋之間被隔成上層氣腔、中間氣腔和底層腔
體；多根上層氣管平行穿過上隔板、下隔板和底蓋，多根下層氣管平
行穿過下隔板和底蓋，各上層氣管和下層氣管下端分別裝設(shè)有長(zhǎng)噴嘴
和短噴嘴；長(zhǎng)噴嘴和短噴嘴在底蓋下表面交錯(cuò)均勻排列。本發(fā)明通過
項(xiàng)目階段:
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