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一種二維納米 SnSe2 晶體材料的制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關(guān)鍵詞：
SnSe2晶體材料
所屬領(lǐng)域:
項目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種二維納米 SnSe2 晶體材料的制備方法，采用
化學(xué)氣相沉積法用單質(zhì)硒和鹵化錫在襯底上沉積所需厚度的 SnSe2 晶
體；其中，沉積設(shè)備為水平管式爐，順序設(shè)有上游低溫區(qū)、中心溫區(qū)
以及下游低溫區(qū)，所述單質(zhì)硒和鹵化錫分別獨立但緊靠放置于上游低
溫區(qū)，所述襯底放置于下游低溫區(qū)；利用不同溫區(qū)的溫度差，單質(zhì)硒
蒸汽和鹵化錫蒸汽形成于上游低溫區(qū)；兩者反應(yīng)生成 SnSe2，并通過
沉積載氣帶入下游溫區(qū)，在襯底上沉
項目階段:
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