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晶體材料大尺寸、定晶向放電切割技術
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
晶體放電切割
所屬領域:
項目成果/簡介:
合作的企業類型等。簡介請圖文并茂，字數1000字以內。）
近年來，在國家自然基金、江蘇省自然基金、航空基金以及國防預研、國家新能源產業化專項、江蘇省科技成果轉化等項目資助下，本課題組進行了在半導體晶體材料加工上實現了大尺寸（600mm）、高尺寸精度（5μm）、定晶向（0.3分）、低損耗、低成本的集成技術優勢，成為國內外首個在半導體晶體放電切割上實現重大突破和技術應用的研究團隊，多項研究成果已經獲得或即將獲得重要應用。
本課題組在特種加工、微細加工、激光加工、再制造等方面開
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