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一種具有非極性吸收層的紫外探測(cè)器
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.502d.xyz
關(guān)鍵詞：
紫外探測(cè)器
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明公開了一種具有非極性吸收層的紫外探測(cè)器，包括：自下而上依次設(shè)置的襯底、ＡｌＮ中間層、非摻雜ＡｌＧａＮ緩沖層、ｎ型ＡｌＧａＮ層、非極性ＡｌｘＧａ１?ｘＮ／ＡｌｙＧａ１?ｙＮ多量子阱吸收分離層、非摻雜ＡｌｚＧａ１?ｚＮ倍增層、ｐ型ＡｌＧａＮ層，在ｐ型ＡｌＧａＮ層上設(shè)置的ｐ型歐姆電極，在ｎ型ＡｌＧａＮ層上設(shè)置的ｎ型歐姆電極，其中０（ｘ（ｙ（ｚ（１。本
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