微納材料表面納米包覆技術(shù)和裝備

高端裝備制造

微納材料表面納米包覆是提升其功能特性的關(guān)鍵，是微納制造研究領(lǐng)域的國際前沿，亦是航空航天、能源環(huán)保、發(fā)光顯示等領(lǐng)域的共用技術(shù)。納米包覆面臨著精度不可控、不均勻、不致密等“頑疾”。團(tuán)隊(duì)提出多場耦合克服微納材料內(nèi)聚力的離心流化策略，保障了微納材料充分分散包覆后的固有物化特性；揭示離心壓差補(bǔ)償?shù)膭討B(tài)包覆機(jī)理，實(shí)現(xiàn)了可控致密的均勻包覆層制備；提出行星流化的微納材料分散策略，國際首創(chuàng)行星流化原子層沉積裝備，批量一致性達(dá)99%以上。

申報技術(shù)受到包括美國斯坦福大學(xué)、阿貢國家實(shí)驗(yàn)室等機(jī)構(gòu)，美國、德國、加

產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用