毫米尺寸的壓電馬達可廣泛應用于照相手機、超微型數碼相機、電腦攝像頭、微型監視器攝像機、醫用內窺鏡、機器和工業用內窺鏡、精密光學儀器、微型機器、納米分辨率操作臺、顯微操作儀、自動細胞和DNA分析儀等領域；高溫壓電驅動器、高溫壓電微馬達在內燃機燃油電噴控制、高溫油（氣）閥、國防領域（如導彈姿態控制）等方面具有很大的應用價值。

壓電致動器以壓電陶瓷材料為驅動元件，具有很高的功率密度，在小尺度內可實現微納米精密驅動。本課題組研發團隊發展了鈮、鋅、錳、銻等多種元素摻雜改性鋯鈦酸鉛高性能壓電陶瓷、錳摻雜改性鈧酸鉍-鈦酸鉛高溫壓電陶瓷材料，也研究了壓電單晶材料在微馬達、微驅動器中的應用，研發了系列微型壓電馬達、包括可應用于低溫和高溫的壓電驅動器、用于驅動光學鏡片的壓電微馬達，以及應用于納米精密定位的多軸壓電驅動平臺。目前課題組已經研發出了世界上最小、直徑僅為1毫米的壓電單晶馬達。比如研制的壓電單晶超聲微馬達，體積尺寸僅有1.5×1.5×5mm3、重量僅有0.1g，但最大可以產生20g的驅動力，其單位體積或質量產生的輸出力比傳統電磁原理音圈馬達要高出100倍以上。此外，課題組還開發出系列推力從0.2N至32N的壓電直線馬達和相應的壓電驅動器工作臺，其主要性能指標可以取代進口Nanomotion的產品。本課題還研發出了可在2500℃高溫下工作、具有微納米分辨率的壓電驅動器，可用于高溫閥，最近還研制了具有亞微米分辨率的6軸壓電微機電系統，在微型機器人精密操作系統、微電子組裝、生物醫學微細操作、超精密微細加工、光通訊，以及3D打印系統等領域具有廣泛應用前景。