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一種抗大沖擊的高精度微光機電系統加速度計
2021-04-13 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
光機電系統
所屬領域:
項目成果/簡介:
本實用新型公開了一種抗大沖擊的高精度微光機電系統加速度計。主要由封裝外殼和布置在封裝外殼中的微機械加速度敏感單元和光學微位移測量單元組成，微機械加速度敏感單元位于光學微位移測量單元正下方；微機械加速度敏感單元從上到下依次為光柵、質量塊?懸臂梁?硅基底微機械結構和下限位板。本實用新型能保證微機械結構在大沖擊下不失效，固定封裝的光學微位移測量單元能保證各個光學元件在大沖擊下不損毀，相對位置保持不變，從而實現抗大沖擊的高精度加速度測量。
項目階段:
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