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基于雙層透鏡結(jié)構(gòu)的風(fēng)速傳感器
2021-04-13 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.502d.xyz
關(guān)鍵詞：
風(fēng)速傳感器
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明公開了基于雙層透鏡結(jié)構(gòu)的風(fēng)速傳感器，涉及MEMS器件，屬于測(cè)量測(cè)試的技術(shù)領(lǐng)域。該風(fēng)速傳感器為柔性透鏡和硅基上的固定透鏡組成的雙層透鏡結(jié)構(gòu)，柔性透鏡與硅基上固定透鏡之間留有足夠空氣腔，當(dāng)有風(fēng)流過時(shí),根據(jù)伯努利效應(yīng),柔性透鏡向固定透鏡移動(dòng),自柔性透鏡上方垂直照射寬波長(zhǎng)光波,可根據(jù)反射波的波長(zhǎng)測(cè)量風(fēng)速大小。本發(fā)明依據(jù)伯努利效應(yīng)及光學(xué)效應(yīng)實(shí)現(xiàn)了非侵入式測(cè)量，無需引線，同時(shí)也降低了傳感器的功率。
項(xiàng)目階段:
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