一種多路液體溫度調節裝置及溫度控制方法

先進制造與自動化

一種多路液體溫度調節裝置及其溫度控制方法，屬于液體溫度 調節裝置及其溫度控制方法，解決現有光刻機浸沒液溫度調節控制裝 置只具有一路輸出的溫度控制能力以及不能協同調節遠端、近端供水 溫度的問題。本發明的溫度調節裝置，包括純水供應部分、注液部分 和控制系統，純水供應部分放置于遠端的純水設備內，注液部分放置 于光刻機內部；純水供應部分和注液部分之間通過遠傳管路連接；控 制系統分別采集純水溫度傳感器、供水溫度傳感器、第一～第三溫度 傳感器的溫度值；并對第 1～第 3 加熱器的加熱電壓進行控制，同時 對冷卻水

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