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微型流量傳感器
2021-01-12 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.502d.xyz
關(guān)鍵詞：
流量傳感器
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
微型流量傳感器，屬于 MEMS 器件，用于氣流流量測(cè)量，解決現(xiàn)有流量傳感器功耗大、襯底存在熱傳導(dǎo)、響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)的問(wèn)題。本發(fā)明之一種微型流量傳感器，襯底上具有凹槽，凹槽表面架有兩個(gè)分離的隔熱層，各隔熱層上濺射有加熱體，加熱體的兩端濺射有金屬電極。本發(fā)明另一種微型流量傳感器，襯底上具有凹槽，凹槽表面架有兩個(gè)分離的隔熱層，各隔熱層表面覆蓋絕緣層，絕緣層上濺射有加熱體，加熱體的兩端濺射有金屬電極。本發(fā)明體積小、重量輕而且性能穩(wěn)定，能有效降低襯底傳熱導(dǎo)致的測(cè)量誤差，通過(guò)測(cè)量?jī)蓚€(gè)加熱體間的電阻差值來(lái)測(cè)定氣流流量，
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