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一種三氫化鋁表面包覆改性方法
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
三氫化鋁
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種三氫化鋁表面包覆改性方法，采用原子層沉 積技術在三氫化鋁粉末表面沉積納米厚度的金屬氧化物或金屬物質將 其包覆，以提高三氫化鋁粉末熱穩定性，包括，S1：將三氫化鋁粉體 放入腔體內并抽真空；S2：加熱腔體到設定溫度且溫度均勻穩定后， 通入流化氣，使三氫化鋁預分散；S3：原子層沉積反應，當腔體內的 溫度達到 50～130℃時，開始原子層沉積反應；S4：重復多次原子層 沉積反應，使粉體表面沉積厚度不斷增長，通過控制沉積反應循環的 次數從而控制在三氫化鋁粉體表面沉積的金屬氧化物或金屬的厚度，
項目階段:
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