超薄功能膜鍍膜技術和設備

先進制造與自動化

開發了先進的離子鍍膜技術，可以在各種金屬、陶瓷、玻璃、有機玻璃和樹脂材料上，鍍制各種功能薄膜，并具有各種鍍膜設備的開發和制備能力。目前可以鍍制的薄膜種類包括：具有超硬特性的非晶金剛石薄膜，可以廣泛地應用于光學、微電子、機械、航空航天等工業生產領域；應用于提高各種刀刃具壽命的氮化鈦鋁、氮化碳、氮化鈦涂層；應用于微電子工業制備集成電路和柔性電路板的銅涂層；應用

小批量或小范圍應用