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新型硅基環(huán)柵納米線MOS?器件
2021-01-12 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.502d.xyz
關(guān)鍵詞：
MOS器件
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
已有樣品/n在主流硅基FinFET集成工藝基礎(chǔ)上，通過高級(jí)刻蝕技術(shù)形成體硅絕緣硅Fin和
高k金屬柵取代柵工藝中選擇腐蝕SiO2相結(jié)合，最終形成全隔離硅基環(huán)柵納米線MOS
器件的新方法。并在取代柵中絕緣硅Fin釋放之后，采用氧化和氫氣退火兩種工藝
分別將隔離的“多邊形硅Fin”轉(zhuǎn)化成“倒水滴形”和“圓形”兩種納米線結(jié)構(gòu)。
項(xiàng)目階段:
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