一種光譜橢偏儀中氙燈光源的光強平滑處理裝置及方法

先進制造與自動化

本發(fā)明公開了一種應(yīng)用到光譜橢偏儀中的氙燈光線光強平滑處 理裝置及方法。該光強平滑處理裝置包括準直透鏡、匯聚透鏡和光闌， 準直透鏡為消色差透鏡，用于將待處理的氙燈光線準直為平行光束； 匯聚透鏡為單透鏡，用于將平行光束匯聚聚焦，匯聚后的光斑大小隨 波長的增加而增大；光闌設(shè)置在匯聚透鏡后并間隔一定波長焦距位置 處，通過設(shè)定該光闌的大小使紫外波段的光斑可透過該光闌而可見到 近紅外波段的光斑被阻擋，從而減小可見到近紅外波段的光束光強， 實現(xiàn)平滑。本發(fā)明還公開了一種氙燈光線光強平滑處理方法。本發(fā)明 沒有損失任何波段的光線，探測器或者光譜儀可以正常響應(yīng)全光譜范 圍的光線，從而可以光譜橢偏儀從紫外到近紅外全光譜范圍內(nèi)的高精 度測量。 

試用