一種快充氣型微正壓保護系統

先進制造與自動化

本發明公開了一種快充氣型微正壓保護系統，包括：經依次順 序連接的第一開關閥 2、第一減壓閥 3 和第二減壓閥 4 分為兩條支路， 其中，一條支路經第一流量計 5 與毛細管 6 一端相連，另一支路經第 二流量計 7 與第二開關閥 8 一端相連，毛細管 6 另一端和第二開關閥 8 另一端接過濾器 9 的一端，過濾器 9 另一端與目標腔體 10 一端相連， 目標腔體 10 另一端與節流部件 14 相連，其中，所述目標腔體 10 為密封腔體，其內壁上布置有測量腔內壓力的壓力傳感器 11、用于測量腔 內氣體純度的成分檢測儀 12、以及過壓保護閥 13。本發明實現了微正 壓保護系統初始化過程的快速充氣功能，縮短了系統的初始化時間， 同時還保證目標腔體在工作過程中的微正壓穩定。 

試用