一種多探針平面度檢測儀及其檢測方法

其它領域

本發明公開了一種多探針平面度檢測儀及其相應的檢測方法，該檢測儀包括測量探針陣列、測量物鏡、干涉顯微鏡、CCD 成像裝置、垂直掃描工作臺和水平工作臺，其中干涉顯微鏡和 CCD 成像裝置設置在垂直掃描工作臺上，分別用于形成光的干涉條紋和干涉條紋的成像；測量探針陣列包括多個探針，這些探針各自的前端具有探針針尖，后端具有平面反射鏡；測量物鏡固定安裝在干涉顯微鏡下部并處于探針平面反射鏡上方，用于對光線進行匯聚；水平工作臺設置在測量探針陣列下方用于放置被測樣品。按照本發明，能夠實現多探針同時測量，充分利用光干涉的高精度特性并有效避免測量時被測表面材料光學性能的影響，相應能夠實現結構簡單、測量精度高和成本低的效果。

未應用