一種集成加熱部件的微型氣敏傳感器的制作工藝

先進(jìn)制造與自動(dòng)化

本發(fā)明公開了一種集成加熱部件的微型氣敏傳感器的制作工藝，步驟為：

①在基底上勻膠和光刻顯影，形成叉指形狀的光刻膠圖形；

②將基底在保護(hù)氣氛下進(jìn)行熱解，形成玻碳叉指電極；

③在玻碳叉指 電極上勻膠并光刻顯影；

④再次熱解，得到具有氣體敏感材料和加熱 部件的叉指電極氣敏傳感器。

本發(fā)明利用光刻和熱解技術(shù)先制作完成 加熱部件和氣敏部分，不需要另外加上檢測(cè)電路，以及另外旋涂敏感 材料。本工藝的特點(diǎn)是將氣體敏感材料部分和加熱器件集成為一體， 而且制作的工藝就是常規(guī)的光刻、熱解等工藝，相對(duì)于現(xiàn)有的氣敏傳 感器的加熱部件具有尺寸小，耗費(fèi)能量小，制作簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。 

試用