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一種用于捕獲循環(huán)腫瘤細(xì)胞的微流道結(jié)構(gòu)及其制備方法

2021-04-11 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 腫瘤細(xì)胞
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所屬領(lǐng)域:
生物、醫(yī)藥及醫(yī)療機(jī)械
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:

本發(fā)明公開了一種用于捕獲循環(huán)腫瘤細(xì)胞的微流道結(jié)構(gòu)及其制 造方法,該方法包括:

(1)在單晶硅片表面勻膠、光刻得到光刻膠掩膜;

(2)基于光刻膠掩膜,使用感應(yīng)耦合等離子體反應(yīng)刻蝕技術(shù) ICP 在單晶硅片上刻蝕出微米級(jí)別的凹槽及槽內(nèi)均勻分布的硅微米柱陣 列;

(3)在微米柱表面制備納米線陣列;

(4)對(duì)凹槽進(jìn)行封裝。

按 照本發(fā)明,可以獲得一種用于循環(huán)腫瘤細(xì)胞檢測(cè)的微納復(fù)合微流道結(jié) 構(gòu),這種檢測(cè)結(jié)構(gòu)具有靈敏度高、效率高等特點(diǎn)。 

項(xiàng)目階段:

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