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清華大學
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【政府采購意向】高精度深硅刻蝕系統

2022-12-22 15:42:00
云上高博會 http://www.502d.xyz
招標單位:
清華大學
招標年份:
2022 年
所屬地區:
北京北京市
招標類型:
產品招標
采購方式:
公開招標
項目概況:

采購品目:A032103電子工業專用生產設備

預計采購時間:2022-11

項目基本情況:
項目名稱:【政府采購意向】高精度深硅刻蝕系統
預算金額:1100 萬元
采購需求:

擬采購高精度深硅刻蝕系統1套,8”及以下Si、石英等刻蝕;片內/片間均勻性:3%。要求:質保期至少1年;售后服務響應不超過24小時(不區分工作日和節假日)。

提交投標文件截止時間、開標時間和地點:
截止時間:2022-11-30 00:00
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