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【政府采購意向】高溫超導薄膜沉積系統(tǒng)
2022-12-14 16:05:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
招標單位：
招標年份：
所屬地區(qū)：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A032103電子工業(yè)專用生產(chǎn)設(shè)備
預(yù)計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】高溫超導薄膜沉積系統(tǒng)
預(yù)算金額：290 萬元
采購需求：
擬采購高溫超導薄膜沉積系統(tǒng)1套，該系統(tǒng)具有多室多靶高真空薄膜沉積功能，通過磁控濺射和脈沖激光沉積的多室聯(lián)合來制備釔鋇銅氧高溫超導薄膜及其他多種類型材料多層膜和復合膜，室內(nèi)極限真空度≤6.67×10^(-6) Pa，加熱溫度1000℃±1℃，靶材最大沉積尺寸Φ60mm，超導薄膜均勻性優(yōu)于±5%，可實現(xiàn)自動送樣，靶材切換，沉積速率校正，在線膜層測量控制等。簽訂合同后8個月以內(nèi)交貨，質(zhì)保期不低于1年。
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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