臺式掃描電鏡1臺，1.*具有光電聯合顯微放大功能：內置集成可調焦彩色光學顯微鏡，具備明場、暗場相，光學放大27-160倍；可實現光學成像引導下的電子成像。最大電子放大倍數：300,000倍。2.加速電壓： 5 kV-20 kV連續可調，束斑尺寸連續可調。3.高靈敏度背散射電子探測器和高真空二次電子探測器。4.分辨率：優于 6nm。5.*燈絲材料：非鎢燈絲，采用CeB6/LaB6或場發射燈絲，單根燈絲壽命不低于1400工作小時，燈絲使用時間在軟件中實時顯示。6.*樣品裝載時間：每次換樣抽真空時間<15s，從載入樣品到成形貌電子圖像整體時間優于30s。 7.真空系統：渦輪分子泵和隔膜泵二級聯用真空系統。具有真空分級技術，燈絲倉與電子倉、樣品倉三倉分離，低真空觀測燈絲壽命不受影響。8.樣品臺控制方式：全自動馬達樣品臺控制，具有X、Y坐標回位功能。配合樣品光學全景導航，實現精準樣品定位，光學全景導航界面，與主成像界面在同一屏幕上顯示。9.觀察模式：具備全面模式BSD Full(形貌和成份)、形貌模式Topo A、形貌模式Topo B模式，SED模式，4種模式在同一個操作界面任意切換。10.圖像格式：jpeg、tiff、png。11.圖像分辨率：960 x 600；1920 x 1200；3840 x 2400；7680 x 4800。12.軟件平臺：電鏡操作系統終身免費升級。13*防震設計：桌面型，可移動，可擺放于普通實驗室桌面使用，無需獨立的防震臺，無需減震裝置可放置在三樓以上樓層。14.遠程檢測：具有終身免費遠程診斷功能，通過聯網專業工程師可隨時遠程檢測。15.能譜探測器類型：氮化硅硅漂移探測器（SDD）。16.能譜探測器晶體活性面積：30mm2。17.冷卻方式：無液氮 Peltier 效應制冷。18.能量分辨率：<123 eV（Mn Kα)。19.元素探測范圍：B（5）- Am（95）。20．*窗口類型： 超輕薄輕元素 Si3N4窗口，化學穩定性高，機械強度高。21.最大計數率：優于1000,000CPS。22.能譜應用軟件特殊功能:可自動或手動進行元素譜峰識別，并可利用可視化峰剝離技術驗證重疊峰識別的正確性。23.能譜可實現元素的點掃描，線掃描，選區掃描，面掃描。24.離子濺射試樣臺：可同時放置6個樣品臺。25.質保期：自設備驗收合格之日起12個月。26.培訓：安裝驗收后免費現場培訓3日，之后每月線上可免費參加技術操作培訓。27.售后服務：貨物出現故障后，供貨方8小時給出初步反饋，如有必要到現場，工程師在3個工作日內到現場進行維修，盡快排除故障。