采購品目:A033499其他專用儀器儀表
預計采購時間:2022-11
購置1臺。 1.肖特基場發射電子槍,能量范圍:0.1 ~ 25 keV; 2.最小束斑直徑(SEI暗場分辨率):3 nm @25kV, <1nA; 3.俄歇空間分辨率: 8 nm @ 1 nA, 20 kV; 能量分辨率:0.5% 至 0.1%連續可調;
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