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【政府采購意向】8寸光刻機
招標單位：
招標年份：
所屬地區：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A033499其他專用儀器儀表
預計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】8寸光刻機
預算金額：600 萬元
采購需求：
購置1臺。 1.最大晶圓尺寸： 8英寸，并且向下兼容各類不同尺寸及不規則小片； 2.曝光光源：曝光光源支持 365nm、 405nm、 435nm； 3.分辨率：優于0.8 um； 套刻精度：正面套刻精度±0.5um；背面套刻精度：±1um；
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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