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浙江大學
浙江大學 教育部
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【政府采購意向】原子層沉積系統

2022-12-06 17:23:13
云上高博會 http://www.502d.xyz
招標單位:
浙江大學
招標年份:
2022 年
所屬地區:
浙江省杭州市
招標類型:
產品招標
采購方式:
公開招標
項目概況:

采購品目:A02100499 其他分析儀器

預計采購時間:2022-11

項目基本情況:
項目名稱:【政府采購意向】原子層沉積系統
預算金額:120 萬元
采購需求:

原子層沉積設備用于各類粉體材料、平面樣品表面的薄膜沉積。采購需要滿足平 面樣品的批量制備(2cm*2cm 樣品片不少于 100 片/批次);通過轉動模塊加裝,可實現粉末樣品的批量制備( 1 克/批次);惰性環境樣品加裝,即 ALD 設備與手套箱銜接,可應用于各類水氧敏感樣品的 ALD 制造;反應器尺寸升級,平面樣品最大可處理尺寸擴展為 60mm;平面樣品薄膜沉積過程中可在反應器出 口加裝石英晶體微天平用于薄膜沉積過程監控等。薄膜沉積過程控制精度達到 0.01-0.5 納 米/周期,反應器內部平面基底表面薄膜厚度不均勻度不高于 2%,不同批次薄膜厚度不均勻度不高于 3%。設備整體采用模塊化設計,后期可根據用戶需求以較小代價對設備相關部件進行改裝,實現常規功能擴充及某些特殊功能拓展,例如:擴充前驅體注入模塊;在反應系統上加載膜厚儀、紅外、質譜等原位表征裝置;實現特異形狀工件外壁或內壁薄膜沉積等。

提交投標文件截止時間、開標時間和地點:
截止時間:2022-11-30 00:00
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